【産業機器】
□ 紫外線瞬間乾燥装置「ユニキュアシステム」
ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。目的に応じて、ランプやUV強度、照射幅などのコンポーネントが可能です。
□ LEDスポットUV照射装置 「SPL-2」
30年以上の実績を持つスポットキュアシリーズのLEDタイプです。今までに培ってきた光学技術を生かし、従来LED式では実現できなかった課題を解決。お客様のニーズに合わせた照射をご提案いたします。
□ スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」
約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」は、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮。ラインやワークの条件に合わせ、レンズやユニットなどもオプションも豊富に取り揃えています。
□ 理化学機器用光源ユニット「オプティカルモデュレックス」
IR、UV、可視光の平行光が卓上で簡易に取り出せ、分光器や太陽電池評価用に最適な卓上タイプの光源ユニットです。 全モデルともランプ光軸の調整が不要かつ卓上で高平行かつハイパワーな光源実験が可能です。
□ 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
□ 露光装置用光源ユニット 「マルチライト」
プロキシミティ露光装置に採用、多彩なバリエーションで最適な光を。 ファインなパターニングをご希望の方へおすすめです。
【ランプ・その他光源】
□ エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット
エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。
希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。
□ 超高圧UVランプ
ウシオの超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、特に3線（436nm・405nm・365nm)を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。 アークサイズが極めて点光源に近いため、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。
□ クセノンショートアークランプ
クセノンランプは、キセノンガスを封入した高輝度な点光源です。 可視域～赤外域までに昼光に類似した連続スペクトルを有し、演色性に優れています。 ソーラーシミュレーターやウェザーメーター、さらに分光分析や顕微鏡などの各種計測機器用光源として活用されています。
□ Deep UVランプ
キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。 230nm～320nm付近の遠紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。
□ ハロゲンランプヒータ
ハロゲンランプヒータとは、ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために開発された加熱源で、投入電力の85％以上が熱に変換され、非常に高効率なエネルギー源です。 ハロゲンランプヒータによる加熱は、フレキシビリティとコントロール性に富み、ほかの熱源にない優れた特徴を有し、半導体・LCD等の電子デバイス製造プロセス、自動車部品加熱、CFRP等の樹脂素材加熱など、さまざまな産業分野にてウシオの熱処理システムが適用されています。
□ 産業用LED
砲弾型・表面実装型・モジュールタイプと、LEDやフォトダイオードを波長ごとに取りそろえています。赤外線領域ではハイパワーLED・超高出力化モジュールなどでニーズに応じたご提供、375～1550nmのUV・可視光・赤外線波長をもつLED素子などのカスタムメイド・オーダーメイドにもお応えします。
【分析・測定・検査】
□ 理化学機器用光源ユニット「オプティカルモデュレックス」
IR、UV、可視光の平行光が卓上で簡易に取り出せ、分光器や太陽電池評価用に最適な卓上タイプの光源ユニットです。 全モデルともランプ光軸の調整が不要かつ卓上で高平行かつハイパワーな光源実験が可能です。
□ 吸光度計 PiCOSCOPE ピコスコープ
□ 紫外線照度計「UIT-201」
光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。
□ 紫外線積算光量計「UIT-250」
光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄･殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。
□ 薄型紫外線照度計「UIT-θ365」
□ 薄型紫外線照度計「UIT-θLED」
□ 分光反射率計「URE-50」
□ 分光放射照度計「USR-45シリーズ」
【実験機器・その他】
□ LEDスポットUV照射装置 「SPL-2」
30年以上の実績を持つスポットキュアシリーズのLEDタイプです。今までに培ってきた光学技術を生かし、従来LED式では実現できなかった課題を解決。お客様のニーズに合わせた照射をご提案いたします。
□ スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」
約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」は、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮。ラインやワークの条件に合わせ、レンズやユニットなどもオプションも豊富に取り揃えています。
□ 理化学機器用光源ユニット「オプティカルモデュレックス」
IR、UV、可視光の平行光が卓上で簡易に取り出せ、分光器や太陽電池評価用に最適な卓上タイプの光源ユニットです。 全モデルともランプ光軸の調整が不要かつ卓上で高平行かつハイパワーな光源実験が可能です。
□ 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
□ 露光装置用光源ユニット 「マルチライト」
プロキシミティ露光装置に採用、多彩なバリエーションで最適な光を。 ファインなパターニングをご希望の方へおすすめです。
□ 光化学反応用実験装置
光化学反応実験装置の反応槽は硬質ガラスでできており、光源冷却管は使用目的に応じ波長の透過率からパイレックスまたは石英を選ぶことができます。 反応槽の容量はそれらの用途により300ml 、500ml、1,000ml、3,000ml、10,000ml の5 種類をご用意し、適合光源は高圧UV ランプ(UM-102,UM-452)、および低圧UV ランプ(ULO-6DQ)の光源に使用できます。 また、光源冷却管は水冷用二重管を採用し、UV ランプ等の放射される熱を吸収する構造になっています。なお、部品の接触部はすべてJIS 規格のスリ合せになっていますので、互換性があります。
※その他、取扱製品ございますのでお問い合わせください。